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执行质liangbiaozhun:GB/T4844-1995
CAS:201008

罗芬激光qi体的详细gaishu
罗芬激光qi体的重要特点之一,激光工作物质shi混合qi或单一纯qi体。由yu罗芬激光qi体中组分qi的纯度直接影xiang激光的性neng,特别shiqi体中氧、水、碳氢化合物等za謘hi拇嬖诮贾录す馐鋍hugong率在镜(mian)和电ji上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。yin此,对罗芬激光qi体组分的纯度有着特殊要求,包装罗芬激光qi体的钢瓶,充装前也须进行干燥chuli,防止污染混合qi。如guo将氦(He)氖(Ne)激光作为第yidaiqi体激光,二氧化碳激光shi第2daiqi体激光,在半导体制造领域将大liang使yong的氟化氪(KrF)激光,ke称为第sandai激光。

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